上海千实解读晶圆专用接触角测量仪的应用

晶圆专用接触角测量仪是指在气、液、固三相交点处所作的气-液界面的切线，此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ，是润湿程度的量度；

接触角现有测试方法通常有两种:其一为外形图像分析方法;其二为称重法。后者通常称为润湿天平或渗透法接触角仪。

但目前应用广泛,测值直接与准确的还是外形图像分析方法，接触角测量仪采用外形图像分析（Shapeimageanalysis）。

接触角（contactangle）是指在气、液、固三相交点处所作的气-液界面的切线，此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ，是润湿程度的量度；

接触角现有测试方法通常有两种:其一为外形图像分析方法;其二为称重法。

后者通常称为润湿天平或渗透法接触角仪。但目前应用广泛,测值直接与准确的还是外形图像分析方法，接触角测量仪采用外形图像分析（Shapeimageanalysis）方法测量样品表面亲疏水性、润湿性能、表面张力、表面能等数据的专用设备。

晶圆专用接触角测量仪应用：

1、液体在固体表面的接触角和润湿性：包括静态接触角，动态接触角（前进/后退接触角），接触角滞后性等；

2、液滴在固体表面的起始滑动角（或滚动角），滑动速度；（扩张功能）

3、液体在固体表面的铺展、渗透/吸收等润湿行为；

4、固体表面自由能（surfacefreeenergy），及其各种分子相互作用力（如极性/非极性）的贡献；

5、液体在固体表面的粘结力（adhesion）、滞留力（retention）等；

6、固体表面在经过清洗、处理后的结果（效果）评估：如洁净度（cleanliness），均匀性（homogeneity），和表面能改变幅度等；

7、液/流-体系的表面/界面张力：包括静、动态表/界面张力的测量；

8、表/界面张力以及表面活性成分含量的现场、在线、实时监测；

9、表面活性物质（如表面活性剂）临界胶团溶度（CMC）的测量：包括全自动CMC测量，全自动有关配方的筛选和优化；

10、表面活性物质在界面的吸附、排列、取向、松弛等现象的研究；

11、液体界面的粘弹性和稳定性：如乳状液／泡沫等体系的稳定性研究等等各种与液/流/固-体系相关的界面现象和过程的测量和分析等。

12、全自动检测整体解决方案，可搭配至流水线上使用，提高检测效率；

技术规格（Specifications）

（一）晶圆专用接触角测量仪触角测量仪主机：

（1）主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念，自主研发的集成芯片电路控制，保证仪器以状态运行；

（2）成像部分使用高性能日本原装进口工业机芯及无失真远心镜头确保的成像效果。

（3）工业级可调LED单波长冷光源系统，成像更清晰

（4）自动位移平台，实现Y、Z自动定位测量，定点地位更，测量效率更高

规格：

主机外形尺寸：1200mm（长）*600mm(宽)*670mm(高)

主机净重：55KG

工作台面尺寸：420mm*420mm

工作台移动：

前后移动自动，行程160mm，精度0.01mm

上下移动手动，行程20mm，精度0.01mm

进样器移动：自动上下60mm（自动）;左右30mm

工业镜头移动：前后30mm（微调3mm）

工业镜头：0.7X*-4.5X高清远心连续变倍变焦显微镜

CCD：SONY原装进口高速工业级芯片；60帧/S

镜头角度可调试：仰视、平视、俯视多视角观察

光源：LED可调节蓝色基调工业级冷光源；使用寿命达贰万伍仟小时以上

电源及功率：220V/60HZ